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多晶矽自動化還原爐鍾罩清洗係統
時間:2016-03-09 來(lái)源(yuán): 北京TXVLOG糖心短视频网站潔清潔設備有限公司
改良西(xī)門子法是一種化學方(fāng)法(fǎ),主要由三氯氫矽與氫氣在1050℃~1150℃,一定壓力下進行還原氣象(xiàng)沉積反應生產(chǎn)高純多晶矽,該工藝一直是半導體(tǐ)行業電(diàn)子級多晶矽生產最主要的工藝方法。其中,還原(yuán)爐和氫化(huà)爐是改良西門子法生產多晶矽的核心設備,其運行好壞直接影響多晶矽(guī)質量及(jí)生產成本。還原爐和氫化爐為電耗較高的設備,一般企業為降低電耗及成本,大都釆取調整工藝參數、提供進料溫度、提高冷卻水溫、清洗鍾罩等方法,其中鍾罩清洗對多(duō)晶矽(guī)生產非(fēi)常重要,如(rú)果鍾罩清洗不(bú)幹淨、光潔度不夠,常常會導致矽芯擊不穿或對產品質量汙染,因此(cǐ)擁有一套完善的多晶矽(guī)還原爐(lú)清洗係統對多晶矽(guī)生產廠家顯(xiǎn)得尤為重要。

國內多晶矽鍾罩清洗方式多種多(duō)樣,有高壓清洗、化(huà)學溶劑低壓清洗、機(jī)械拋光(guāng)等(děng),但大多釆用堿液中壓清洗。我們在使用過程中發現這些清洗方式不能將(jiāng)鍾罩清洗幹淨,不能滿足生產需求。為此,北京德(dé)高潔清潔設備有限公司經過研發(fā)設計(jì)並製造出(chū)了多晶矽自動化還原爐鍾罩清洗(xǐ)係統(tǒng)。

多晶矽(guī)自動(dòng)化還原爐鍾罩(zhào)清洗係(xì)統是以(yǐ)高壓水射流為動力的自驅動三(sān)維旋轉噴頭(tóu)形(xíng)成360°的網狀高壓水柱噴射表麵,從而完成鍾罩內部表(biǎo)麵的水力(lì)掃射,並采用專用清洗劑等為主要清洗液,先用純水(去離子水或(huò)叫脫鹽水)漂洗,之後再采用高純水衝洗,最終完成清洗過(guò)程。具體特點如下:

1、核心部件(jiàn)高壓泵采用進口耐酸堿、耐高溫、全不鏽(xiù)鋼(gāng)的加壓泵,清洗作業時三維旋轉噴頭可實(shí)現自驅動旋轉、自動升降、全方位自動清洗,並可保證多(duō)晶矽(guī)的(de)純度;
2、利用多晶矽生產廠家的蒸汽餘熱(rè)將清洗介質加熱,從而(ér)改變原電加熱工藝;
3、利用多晶(jīng)矽生產廠家的廠家蒸汽餘熱,設置10萬級空氣淨化換熱裝(zhuāng)置代替原氮氣電加熱幹燥還原爐體工藝;
4、北京(jīng)TXVLOG糖心短视频网站潔清潔設備有限公司自行研發設計的自驅動旋轉升降(jiàng)噴射機構可適應各規格的還原爐體;
5、由於清洗過程中會(huì)有氫氣和酸性物質產生(shēng),所(suǒ)以必須解決二次汙染問題。我公司自行設計的全封閉式清洗裝置可完美解決二次汙染;
6、設計出(chū)高壓堿液和清水的供給和分開回收裝置(zhì),並進(jìn)行(háng)淨化使後序清洗水用於前序的(de)漂洗工序,充分利用了廢水資源(yuán)。
實際使用證明,北京TXVLOG糖心短视频网站潔清(qīng)潔設備有限公司研發生產(chǎn)的多晶矽自動化還原爐鍾罩清洗係統有效解決了生產中的實際問題,為公司節能降耗提供了有(yǒu)利條(tiáo)件,適用於在全(quán)國範圍推廣(guǎng)應用。
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- 多晶矽
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- 還原爐鍾罩(zhào)清洗係統
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