< direction="up" onmouseover="this.stop()" onmouseout="this.start()" scrollamount="1" scrollDelay="1" width="220" height="180">上海-浙江-杭州-江蘇-南京-無錫-蘇州（zhōu）-北（běi）京（jīng）-天津-重慶（qìng）-沈陽-長（zhǎng）春-吉（jí）林-哈爾濱-石家莊-唐山-西安-太原-濟南-南京-杭州-成都-貴陽（yáng）-昆（kūn）明（míng）-西藏-拉薩-新疆-烏魯木齊-內蒙（méng）古（gǔ）-呼和浩特-包（bāo）頭-銀川-合肥（féi）-福州（zhōu）-南昌-武（wǔ）漢-長沙（shā）-南寧-海口-河北-秦皇島（dǎo）-張家口-保定-廊坊-唐山-山東-青（qīng）島-淄博-煙台-威海-遼寧（níng）省-大（dà）連-鞍山-撫順-丹（dān）東-黑龍（lóng）江-大慶-齊齊哈（hā）爾-牡丹江-佳（jiā）木斯-吉林省（shěng）-延吉-四平-山西省（shěng）-大同-長治-晉城（chéng）-四（sì）川-攀（pān）枝花-自貢-宜賓-雅安-上海-浙江-杭州-廈門-寧波-昆（kūn）山-嘉興-湖州-常州-保定-錦州-湛江-遼寧-雲南-陝西-青海-銀川-北海-溫州-常州-無錫（xī）-蘇州-南京-鎮江-揚州（zhōu）-南通-合肥-徐州-常熟
- 全國統一銷售熱線：
- 北京總部：
- 010-64437473
- 上海：
- 021-62113795
- 深（shēn）圳：
- 0755-86241216
電子級多晶（jīng）矽還原爐鍾罩自動清洗係統成功問世（shì）
時間：2017-02-27 來源： 北京TXVLOG糖心短视频网站潔清潔設備有限公司
多晶矽（guī）是用工業矽通過化學、物理途徑提純製得（dé），多晶矽（guī）主要用於生產單晶矽和衛星太陽能電池。單晶矽即矽半導體是多晶矽的衍生產品，是製（zhì）造繼承（chéng）電路（lù）和電子元件的優質材料，被廣泛應用於電子工業中。
還（hái）原爐沉積多晶矽是間歇操作，一個運行周期內，矽棒不斷長大，一個運行周期結束後打（dǎ）開鍾罩收（shōu）割矽棒。但在運行期內，基盤（pán）及（jí）鍾罩表麵均（jun1）會產生一層（céng）土黃（huáng）色粉末，其主要成分是無定形矽。在收割矽棒後，需要進行基（jī）盤和鍾罩（zhào）的清理，再裝矽芯進行下一個周（zhōu）期的化學氣相沉積。
還原（yuán）爐鍾罩汙染物易造（zào）成內表麵熱量反射減少，使生產能耗（hào）增加；電極周圍汙染物降低了點擊的絕緣而導致運行過程中接地故障（zhàng）、倒棒等生產事故。而用於（yú）電子行業的（de）多晶矽對（duì）產品質量（liàng）純淨度的控製要求更高（gāo），
隨（suí）著我（wǒ）國半導體工業發展（zhǎn），對多晶矽純度要求越（yuè）來越高，還原爐（lú）沉積環境的潔淨度就顯得特別關鍵，任何顆粒性雜質、油脂等物質餘留在爐內，都會對產品質量（liàng）造成影響。那麽，如何清理能方便快捷，同時效果更佳？
多（duō）晶矽還原爐清（qīng）洗係（xì）統始於2009年，國內第一（yī）家研發設計製造並獲得實用新型專利是北京德（dé）高潔清潔設備（bèi）有限公司，該（gāi）公（gōng）司多晶矽還原爐鍾罩（zhào）清（qīng）洗係統覆蓋了（le）國（guó）內多家多晶矽生產企業。早期有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等，但大多釆用堿液（yè）中壓（yā）清洗，這些清洗方式不僅不能將鍾罩清（qīng）洗幹淨，還會（huì）損傷表（biǎo）麵（miàn）鍍（dù）銀的還原爐鍾罩（zhào），為攻克這一難題，一款全新的用於電子級的多（duō）晶矽還原爐鍾罩清洗係（xì）統應運而生。
電子級多晶矽還原爐鍾罩自動清洗係統特點：
1、多晶矽還原爐鍾罩清（qīng）洗係統以水為動力，以水力自驅（qū）動三維洗罐器為噴頭，形成360° 3D形式（shì）的網狀噴射來完成爐（lú）筒內部表麵的水力掃射。
2、采用（yòng）可以旋轉和升降的清洗吹幹（gàn）執行機構，根據還原爐每個視孔鏡相對原（yuán）點的相對位置（zhì）進行準確定位。可自（zì）動（dòng）切換不同清洗液及吹幹，通過控（kòng）製係統可對（duì）清洗、吹幹時間等（děng）進行調整。清洗時隻需一鍵操作即可，操作簡單方便。
3、根據還原爐底部法蘭的結構特設計升級後的（de）清洗工作台（tái），不僅可以（yǐ）滿足對內壁和視孔鏡的清洗，同時也滿足了底部法（fǎ）蘭的清洗。可實現對法蘭內邊緣的清洗（xǐ），保證整個法蘭底部都被清洗液覆蓋，並清洗、吹幹（gàn）。
4、在整個還原爐的（de）清洗過程中，清洗、幹燥中筒內形成微負壓狀態，防止（zhǐ）清洗外溢，同時將底座與筒體下法蘭（lán）處的汙染物等一並吹掃，通過排汙管排出，從而保證了整個過程不會對潔淨區造（zào）成汙染。
經過（guò）實際應用，多晶矽還原爐清洗係（xì）統整套係統可實現全（quán）自（zì）動化清洗操作，在一個工作平台上，一次吊裝可依次（cì）實現自動清洗烘幹全部功能，完全實現無死角清洗，同時具有完善的聯鎖和保護功能。
上一篇（piān）：超聲波清洗機的選擇要點
下一篇：工業清洗節能環保快車的助推器——物理清（qīng）洗工藝
- 標簽：
- 多晶（jīng）矽
- 還原（yuán）爐鍾罩
幹冰清洗機的發展曆程
2012-09-07
TR ATC有軌電車清洗係統主要設計參數及其
2012-11-04
DPT幹冰清洗機清洗舊（jiù）儲油罐的特點及作業注
2014-05-17
危險（xiǎn）化學品罐車清洗係統（tǒng）
2017-08-08
工業除塵設備的選擇攻略
2012-01-19
水下切割的安全操作注意事項
2019-03-28
人工清洗油罐車的風險（xiǎn）
2018-09-21
新型環保金屬表（biǎo）麵除鏽工藝：安全到可以喝
2018-09-07
有軌電車（chē）建設（shè）加速 軌（guǐ）道槽清洗有妙招
2018-06-25
機械加工中影響（xiǎng）毛刺變化的主要因素
2018-05-21