多（duō）晶矽生產（chǎn）剛需：TXVLOG糖心短视频网站潔自動化清洗係統（tǒng）保障電子級潔（jié）淨度
時間：2025-06-17 17:04:00作者：LeeZhou來源（yuán）：TXVLOG糖心短视频网站潔清潔設備
多晶矽還原爐鍾罩表（biǎo）麵易（yì）沉積副產物（wù），影響生（shēng）產質量，需定期清洗。人工清洗因殘（cán）留物具腐蝕性、反應放熱易引發（fā）安全（quán）隱患，且需嚴格操作（zuò）。TXVLOG糖心短视频网站潔研發自（zì）動化高壓水清洗係（xì）統，由（yóu）多裝置組成，通過水力驅動（dòng）三維噴頭 360° 清洗，搭配堿液、純水衝洗及熱風（fēng）烘幹，全流程自動化。係統（tǒng）采用（yòng） PLC 控製，可調節參數，全封閉作業避免汙染。
多晶矽（guī）是光（guāng）伏行（háng）業和微電子行（háng）業的基礎材料，生產多晶矽主要采用改良西門子法，改良西門子法生產多晶矽的反應器主要采用多晶矽還原爐（lú）。在多晶矽生產（chǎn）過（guò）程中，還原爐鍾罩表麵上會沉積一定厚度的多晶矽副（fù）產物、矽（guī）粉（fěn）等。但多晶矽生產對還原爐沉積環（huán）境的潔淨度要求（qiú）特別關鍵，任何顆粒性雜質、物料等（děng）物質餘留在爐內，都會對產品質量造成（chéng）影響。所以在還原爐（lú）運行一個周期（qī）結束（shù）後，需（xū）要對還（hái）原爐（lú）鍾罩內部進行徹底清洗後，再進行下一（yī）個周期的（de）化學氣相沉積。
一、多晶矽還（hái）原爐鍾罩內部殘留清洗原理及（jí）挑戰
殘留物的主要化學成分（fèn）是Si，能和氫氧化鈉發生氧化還原（yuán）反應，其他物質（zhì）有SiO2、(HSiO)2O等，均含弱（ruò）酸（suān）性易與氧化鈉溶（róng）液發生中和反應。利用氫氧化鈉溶液（yè），將緊密附著在還原（yuán）爐內表麵的膜狀沉積物（wù）腐（fǔ）蝕以（yǐ）便清理，在此清洗原理下，對多晶矽還原爐清洗時需要麵臨以下問題：
1、因還原爐（lú）內殘留物及清洗液均為具有腐（fǔ）蝕性（xìng）的化學物質，同時在清洗中殘留氯矽烷會發生水解伴有氫（qīng）氣產生，且水解（jiě）反應為強烈的放熱反應，容易（yì）產（chǎn）生爆鳴燃燒。因此，人工清洗過程中具有（yǒu）一定的安全隱患（huàn），清洗過程中必須穿戴好（hǎo）勞保用品，並佩戴防（fáng）護手套（tào）；
2、人工用氧化鈉溶液擦洗還原爐鍾罩時，必須操作要緩慢以免摩擦生熱引（yǐn）起著火；
3、清洗中要（yào）保證將鍾（zhōng）罩烘烤幹（gàn）避免有殘留水分，影響下一批次的（de）生產周期及產品質量（liàng）。
二、多晶矽還原爐鍾罩內（nèi）部自動清洗方式
由於多晶矽還原爐鍾罩的清洗存在一（yī）定的安全隱患，行業內需要提供一套安全高（gāo）效的清洗方式，TXVLOG糖心短视频网站潔結合（hé）多晶矽生產工藝及設備需求，獨立自主研發了一套自動化高壓水多晶矽還原爐鍾罩清洗係統，其由高壓熱水動力清洗裝置，熱風淨化烘幹機組（zǔ）、清洗烘幹工（gōng）作台、PLC電（diàn）氣（qì）控製係統等組成，自動化完（wán）成還原爐鍾罩內部的清洗及烘幹流程，減少人工（gōng）投入，提高清洗效率（lǜ）、質量、環保、安全等性能。
自動化高壓水多晶矽還原爐鍾罩（zhào）清（qīng）洗係統（tǒng）整個清（qīng）洗流（liú）程包括：還原爐鍾罩到位→預清洗→清洗劑(堿液)清洗→漂洗→高純水衝洗→淨化熱空氣幹燥→常溫幹燥→鍾罩吊走（zǒu）。其工作原理是以水力自驅動三（sān）維自（zì）動旋轉噴頭，形成360°的網狀噴射表麵，完成鍾罩內部表麵的水力掃射，用專用清洗劑等為主要清洗（xǐ）液，用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗，最後用高（gāo）純（chún）水衝（chōng）洗後烘幹，最終完成整個清洗過程（chéng）。
還（hái）原（yuán）爐鍾罩清洗過程中，一次吊（diào）裝在一個工作台上完成全部清（qīng）洗、烘幹過程，清洗（xǐ）時（shí）鍾罩底部法蘭和清洗平台組成一個（gè）全封閉空間，避免高壓水射流噴射出鍾罩外，對周（zhōu）圍（wéi）環（huán）境及工（gōng）作人員健康的負麵影響。TXVLOG糖心短视频网站潔多晶矽還原（yuán）爐（lú）鍾（zhōng）罩自動清洗係統，采用PLC電氣（qì）控製係統，可根據多晶矽實際生產實況調整清洗壓力、流量及清洗時間，在保障清洗（xǐ）質量的同時，節約水（shuǐ）資源的（de）浪費，係統同時具有半自動或手動功能，提高工（gōng）人的適（shì）應（yīng）性。
TXVLOG糖心短视频网站潔多晶矽還原爐鍾罩清（qīng）洗係統（tǒng）操作簡（jiǎn）單（dān），設備安全穩定，其核心部件、元件和附件原裝（zhuāng）進口保證了（le）電子級多晶矽（guī）鍾罩（zhào）清洗係統性能的可（kě）靠（kào），可以（yǐ）在一套係統實現多種型號鍾罩的（de）清洗烘幹（gàn）。目前，TXVLOG糖心短视频网站潔在多晶矽還原爐清洗（xǐ）行業已擁有國內90%的用戶，為多晶矽行業提供了（le）幾十套還原爐清洗係統，經驗豐富，技術可靠。
TXVLOG糖心短视频网站潔作為（wéi）一家專業的環保（bǎo）清潔設備供應（yīng）商，在環保除塵、淨化（huà）、工業設備清潔領域已（yǐ）積累了近三十年的（de）業內寶貴經（jīng）驗，自2007年便致力於研發高效率、高環保、高質量的自動化係統，期間自主研發並投入使用了一（yī）係列高壓水自動化清洗係（xì）統（tǒng），可對液壓支架、噸桶、罐車、反應（yīng）釜、罐式集裝箱、儲罐、發酵罐、多晶（jīng）矽還（hái）原爐鍾罩（zhào）等設備進行自動化清洗，並結合企業實際生產（chǎn）工況（kuàng），提供（gòng）可定製化自動清洗解決方案，做到以（yǐ）客戶需（xū）求為基準，用現代技術、標準工藝（yì），竭誠為客戶服務。
多晶矽（guī）是光（guāng）伏行（háng）業和微電子行（háng）業的基礎材料，生產多晶矽主要采用改良西門子法，改良西門子法生產多晶矽的反應器主要采用多晶矽還原爐（lú）。在多晶矽生產（chǎn）過（guò）程中，還原爐鍾罩表麵上會沉積一定厚度的多晶矽副（fù）產物、矽（guī）粉（fěn）等。但多晶矽生產對還原爐沉積環（huán）境的潔淨度要求（qiú）特別關鍵，任何顆粒性雜質、物料等（děng）物質餘留在爐內，都會對產品質量造成（chéng）影響。所以在還原爐（lú）運行一個周期（qī）結束（shù）後，需（xū）要對還（hái）原爐（lú）鍾罩內部進行徹底清洗後，再進行下一（yī）個周期的（de）化學氣相沉積。
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殘留物的主要化學成分（fèn）是Si，能和氫氧化鈉發生氧化還原（yuán）反應，其他物質（zhì）有SiO2、(HSiO)2O等，均含弱（ruò）酸（suān）性易與氧化鈉溶（róng）液發生中和反應。利用氫氧化鈉溶液（yè），將緊密附著在還原（yuán）爐內表麵的膜狀沉積物（wù）腐（fǔ）蝕以（yǐ）便清理，在此清洗原理下，對多晶矽還原爐清洗時需要麵臨以下問題：
1、因還原爐（lú）內殘留物及清洗液均為具有腐（fǔ）蝕性（xìng）的化學物質，同時在清洗中殘留氯矽烷會發生水解伴有氫（qīng）氣產生，且水解（jiě）反應為強烈的放熱反應，容易（yì）產（chǎn）生爆鳴燃燒。因此，人工清洗過程中具有（yǒu）一定的安全隱患（huàn），清洗過程中必須穿戴好（hǎo）勞保用品，並佩戴防（fáng）護手套（tào）；
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3、清洗中要（yào）保證將鍾（zhōng）罩烘烤幹（gàn）避免有殘留水分，影響下一批次的（de）生產周期及產品質量（liàng）。
二、多晶矽還原爐鍾罩內（nèi）部自動清洗方式
由於多晶矽還原爐鍾罩的清洗存在一（yī）定的安全隱患，行業內需要提供一套安全高（gāo）效的清洗方式，TXVLOG糖心短视频网站潔結合（hé）多晶矽生產工藝及設備需求，獨立自主研發了一套自動化高壓水多晶矽還原爐鍾罩清洗係統，其由高壓熱水動力清洗裝置，熱風淨化烘幹機組（zǔ）、清洗烘幹工（gōng）作台、PLC電（diàn）氣（qì）控製係統等組成，自動化完（wán）成還原爐鍾罩內部的清洗及烘幹流程，減少人工（gōng）投入，提高清洗效率（lǜ）、質量、環保、安全等性能。
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