新型電子級多晶(jīng)矽還原爐鍾罩(zhào)清洗係統
時間:2017-05-31 15:37:16作者:LeeZhou來源:TXVLOG糖心短视频网站潔清潔設備
多晶矽材料(liào)是以工(gōng)業矽為原(yuán)料經一係列物理化(huà)學反應提純後達到一定純度的電子材料,其具有高純度的特點,在整個生(shēng)產過(guò)程中,對產品質量的控製要求很高。在競爭激烈市場價格越來越低(dī)的態(tài)勢下,更好的壓縮成本,也是多(duō)晶矽生產廠家關注(zhù)的重點。
多晶矽生產多(duō)采用改(gǎi)良(liáng)西門子法,也是用來生(shēng)產半導體(tǐ)級多晶矽的主要(yào)工藝方(fāng)法。還原爐是改良西門子法的核心設備,多晶矽的矽棒就是在(zài)其中“生長”出來的,因此還原爐的沉積環境的潔淨度特別關鍵。

在多晶矽的生產設備中,還原爐運行(háng)好壞直接影響多晶矽質量和生產成(chéng)本,一般為降低耗電和成本,采取調整(zhěng)工藝參數、提供進料溫度、提(tí)高冷卻水溫度、清洗(xǐ)鍾罩等方法。一套好的鍾罩清洗裝置在多晶矽生產中是非常必要的,因為鍾罩清洗的光潔度(dù)和清潔度如果不夠,會導致矽芯擊不穿或產品質(zhì)量汙染。
目前(qián)多晶矽鍾罩的清洗(xǐ)方式多種多樣,有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等。多晶矽還原爐清洗係統始於2009年,TXVLOG糖心短视频网站潔清潔設備有限公司是國內第一家研發(fā)設計(jì)製造並獲(huò)得實用(yòng)新型(xíng)專利的。目前其設備應用也是覆蓋了(le)國內90%的多晶矽企業,為多晶矽行業(yè)提供了幾十套還原爐清洗係統。
經過多(duō)年來客戶的實際應用和需求,通過(guò)總結借鑒國內外鍾(zhōng)罩及其它罐類清洗(xǐ)烘幹經驗(yàn),對汙染和潔淨的概念和控製有(yǒu)了(le)更(gèng)全麵的認識。TXVLOG糖心短视频网站潔充分發揮高壓水清(qīng)洗(xǐ)和吸除塵的技術優勢,研發半導體(tǐ)級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統,實現了鍾(zhōng)罩的全自動清洗和烘幹操作。
1、設備性能可靠(kào)
德(dé)高潔電子(zǐ)級多晶(jīng)矽鍾罩清洗係統性能可靠,核心部件、元(yuán)件和附件原裝進口。
2、自動化程度高
自動化程度(dù)高,用PLC+觸摸屏柔性自動控製係統,能實(shí)現對還原(yuán)爐鍾罩的自動清洗和烘幹,清洗烘幹時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數可(kě)以根據需要自行調整設(shè)定,同時具有半自(zì)動或手動功能。
一次吊(diào)裝在一個工作台上(shàng)完成(chéng)全部清洗(xǐ)、烘幹過程,可實現遠程對樓下設備的控製和主要參數監控。
3、安全(quán)環保
全密(mì)閉式清(qīng)洗烘幹係統,使汙(wū)染物(wù)(廢氣、廢水等)在受控的條件下,按設計出口排放(fàng),基本消(xiāo)除了對現場及操作人員的汙染。
德(dé)高潔多晶矽(guī)鍾罩清洗係統按防爆要求設計,加多處安全互鎖功(gōng)能(樓上、樓下操作,缺水保護,壓力水超(chāo)壓保護(hù)、漏(lòu)電保護,水風工作互鎖等)。
4、適應範圍廣
可以在一套係統實現多種型號鍾罩的清洗烘幹,現在已經使(shǐ)用的有四種。
升級後(hòu)的多晶矽還原爐鍾罩清(qīng)洗(xǐ)係統(tǒng)可根據不同(tóng)的鍾罩、不同車間廠(chǎng)房不同能源條件,提供個性化(huà)設計,節省了人力物力,大大降低勞動強(qiáng)度,這也對提高多晶矽品質產生重(chóng)要意義。
多晶矽生產多(duō)采用改(gǎi)良(liáng)西門子法,也是用來生(shēng)產半導體(tǐ)級多晶矽的主要(yào)工藝方(fāng)法。還原爐是改良西門子法的核心設備,多晶矽的矽棒就是在(zài)其中“生長”出來的,因此還原爐的沉積環境的潔淨度特別關鍵。

在多晶矽的生產設備中,還原爐運行(háng)好壞直接影響多晶矽質量和生產成(chéng)本,一般為降低耗電和成本,采取調整(zhěng)工藝參數、提供進料溫度、提(tí)高冷卻水溫度、清洗(xǐ)鍾罩等方法。一套好的鍾罩清洗裝置在多晶矽生產中是非常必要的,因為鍾罩清洗的光潔度(dù)和清潔度如果不夠,會導致矽芯擊不穿或產品質(zhì)量汙染。
目前(qián)多晶矽鍾罩的清洗(xǐ)方式多種多樣,有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等。多晶矽還原爐清洗係統始於2009年,TXVLOG糖心短视频网站潔清潔設備有限公司是國內第一家研發(fā)設計(jì)製造並獲(huò)得實用(yòng)新型(xíng)專利的。目前其設備應用也是覆蓋了(le)國內90%的多晶矽企業,為多晶矽行業(yè)提供了幾十套還原爐清洗係統。
經過多(duō)年來客戶的實際應用和需求,通過(guò)總結借鑒國內外鍾(zhōng)罩及其它罐類清洗(xǐ)烘幹經驗(yàn),對汙染和潔淨的概念和控製有(yǒu)了(le)更(gèng)全麵的認識。TXVLOG糖心短视频网站潔充分發揮高壓水清(qīng)洗(xǐ)和吸除塵的技術優勢,研發半導體(tǐ)級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統,實現了鍾(zhōng)罩的全自動清洗和烘幹操作。
1、設備性能可靠(kào)
德(dé)高潔電子(zǐ)級多晶(jīng)矽鍾罩清洗係統性能可靠,核心部件、元(yuán)件和附件原裝進口。
2、自動化程度高
自動化程度(dù)高,用PLC+觸摸屏柔性自動控製係統,能實(shí)現對還原(yuán)爐鍾罩的自動清洗和烘幹,清洗烘幹時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數可(kě)以根據需要自行調整設(shè)定,同時具有半自(zì)動或手動功能。
一次吊(diào)裝在一個工作台上(shàng)完成(chéng)全部清洗(xǐ)、烘幹過程,可實現遠程對樓下設備的控製和主要參數監控。
3、安全(quán)環保
全密(mì)閉式清(qīng)洗烘幹係統,使汙(wū)染物(wù)(廢氣、廢水等)在受控的條件下,按設計出口排放(fàng),基本消(xiāo)除了對現場及操作人員的汙染。
德(dé)高潔多晶矽(guī)鍾罩清洗係統按防爆要求設計,加多處安全互鎖功(gōng)能(樓上、樓下操作,缺水保護,壓力水超(chāo)壓保護(hù)、漏(lòu)電保護,水風工作互鎖等)。
4、適應範圍廣
可以在一套係統實現多種型號鍾罩的清洗烘幹,現在已經使(shǐ)用的有四種。
升級後(hòu)的多晶矽還原爐鍾罩清(qīng)洗(xǐ)係統(tǒng)可根據不同(tóng)的鍾罩、不同車間廠(chǎng)房不同能源條件,提供個性化(huà)設計,節省了人力物力,大大降低勞動強(qiáng)度,這也對提高多晶矽品質產生重(chóng)要意義。
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