電子級多晶矽（guī）還原爐鍾罩自動清洗係統成功問世

多晶矽是用工業矽通過化學、物理途徑提純製得，多晶矽主要用於生（shēng）產單晶矽和衛星太陽能電池。單（dān）晶矽（guī）即（jí）矽半導體是多晶矽（guī）的衍生產品，是（shì）製造繼承電路和電子元（yuán）件的優質材料，被廣泛應用於電子工業中。

還原爐沉積多（duō）晶矽是間歇操作，一個運行周期內，矽棒不斷長（zhǎng）大（dà），一個運行周（zhōu）期結束後打開鍾罩收割矽棒。但在（zài）運行期內，基盤及鍾罩表麵均（jun1）會產生一層土黃色粉末，其主（zhǔ）要成分是無定形矽。在收割矽棒後，需要進行基盤和鍾罩（zhào）的清理，再裝矽（guī）芯進行下（xià）一個周期的化學氣（qì）相沉積。
 
還原爐鍾罩汙染物易造（zào）成內表麵熱（rè）量（liàng）反射減少，使生產能耗增加；電極周圍汙（wū）染物降（jiàng）低了點擊的絕緣而導致（zhì）運行過程中接（jiē）地故障、倒棒等生產事（shì）故。而（ér）用於電子行（háng）業的多晶矽對產品質量（liàng）純淨度的（de）控製要求更高，

隨著我國半導體工業發展，對多晶矽純度要求越來越高，還原爐沉（chén）積環境的潔淨度就顯得特別關鍵，任何顆粒性雜質、油脂等物質餘留在爐內，都會對產品質量造成影（yǐng）響。那麽，如（rú）何清理能（néng）方便快捷，同（tóng）時效果更佳（jiā）？

多晶矽還原爐清洗（xǐ）係（xì）統始於2009年，國內第一（yī）家研（yán）發設（shè）計製造並獲得實用新型專（zhuān）利是北京TXVLOG糖心短视频网站潔清潔設備有限公司，該公司多晶矽還原爐鍾罩清洗係統覆蓋了國內（nèi）多家多晶矽生產企業。早期有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等，但大多釆用堿液中壓清洗（xǐ），這些清洗方式（shì）不僅（jǐn）不能將鍾罩清洗幹淨，還會損傷表麵鍍銀的還原爐鍾罩，為攻克這一（yī）難題，一款全新（xīn）的（de）用於電子級的多晶矽還原爐鍾罩清洗係統應運而生。

電子級多晶矽還原爐（lú）鍾罩自動清洗係統特點：

1、多晶（jīng）矽還（hái）原爐鍾罩（zhào）清洗係統以水為動力，以水力自驅動（dòng）三維洗罐器（qì）為噴頭（tóu），形成360° 3D形式的網狀噴射來完成（chéng）爐筒內部（bù）表麵的水力（lì）掃（sǎo）射（shè）。

2、采用可以旋轉和升降（jiàng）的清（qīng）洗吹幹執行機構，根據還原（yuán）爐每個視孔鏡（jìng）相對原點的相對位置進行準確定位。可自動切換不同清洗（xǐ）液及吹幹，通過控製係統可對清洗、吹幹時間等進行（háng）調整。清洗時隻需一鍵操作即可，操作簡單（dān）方便。

3、根據還原爐底部法蘭的結構特設計升級後的清洗工作台（tái），不僅可以（yǐ）滿足對內壁和視孔鏡的清洗（xǐ），同時也滿足了底部法蘭（lán）的清洗。可實現（xiàn）對法蘭內邊緣（yuán）的清洗，保（bǎo）證整個法（fǎ）蘭底部（bù）都被清洗液覆蓋，並清（qīng）洗、吹幹。

4、在整個還原爐（lú）的清洗過程中，清洗、幹燥中筒內形成微負壓狀態，防（fáng）止清洗外溢，同時將底座與（yǔ）筒（tǒng）體下法蘭（lán）處（chù）的汙染物等一並吹掃，通過（guò）排汙管排出，從而保證（zhèng）了整個過程不會對潔淨區造成汙染。
 
經過實際應用，多晶矽還原爐清洗係統整套係統可（kě）實現全自動（dòng）化清洗操作，在一個工作平台上，一次吊（diào）裝可依次實現自動清洗烘幹全部功能，完全實現無死角（jiǎo）清（qīng）洗，同時具（jù）有完善的聯鎖和保護功能。