多晶矽自動化還原爐鍾罩清洗係統

改良西門子法是一種（zhǒng）化學方法，主（zhǔ）要由三氯氫矽與（yǔ）氫氣在1050℃～1150℃，一定壓力下進行還原氣象沉積反應（yīng）生產高純多晶矽，該工（gōng）藝一直是半導（dǎo）體行（háng）業電子級多晶矽生產最主要的工藝方法。其中，還原爐和（hé）氫化爐是改良西門子法生產多晶矽的核心設備（bèi），其運行好壞直接影響多晶矽質（zhì）量（liàng）及生產成本（běn）。還原爐和氫化爐（lú）為電耗較高的（de）設備，一般企（qǐ）業為降低電（diàn）耗及成本，大都釆（biǎn）取調整工藝參（cān）數（shù）、提供（gòng）進（jìn）料溫度、提高冷卻水溫、清洗鍾罩等方法，其中（zhōng）鍾罩清洗（xǐ）對多晶矽生產非常重要，如果鍾罩清洗不幹淨、光潔度不夠，常常會導致矽芯擊不穿（chuān）或對產（chǎn）品質量汙染，因此擁有一套完（wán）善的多晶（jīng）矽還原爐清（qīng）洗係統對多晶矽生產廠家顯得尤為重要。
 
國內多晶矽鍾罩清洗方式多（duō）種（zhǒng）多樣，有高壓清洗、化學溶劑低（dī）壓清洗（xǐ）、機械拋光等，但大多釆用堿液中壓清（qīng）洗。我們在使用過程中發現（xiàn）這些清洗方式不能將鍾罩清洗幹淨，不能滿足生產需求。為此，北京TXVLOG糖心短视频网站潔清潔設備有限公司經過研發設計並製造出了多晶矽自（zì）動化還原爐鍾罩清洗係統。
 
多晶矽自動化還（hái）原爐鍾罩清洗係統是以（yǐ）高壓水射流為動力的自驅動三維旋轉（zhuǎn）噴頭（tóu）形成360°的網狀高壓水柱噴射（shè）表麵，從而（ér）完成鍾罩（zhào）內部表麵的水力掃射，並采用專用清洗劑等為主要清洗液，先用純水(去（qù）離子水或叫脫鹽水（shuǐ）)漂洗，之後再采用高純水衝洗，最終完成清洗過程。具體特點如下（xià）：
 
1、核心部件高壓泵采用進（jìn）口耐酸（suān）堿、耐高溫、全不（bú）鏽鋼的加壓泵（bèng），清洗作業時三維旋轉噴頭可實現自驅動旋（xuán）轉、自動升降、全（quán）方位自動（dòng）清洗，並（bìng）可保（bǎo）證多晶矽的（de）純度；

2、利用多晶（jīng）矽生產廠家的蒸汽餘（yú）熱將清洗介（jiè）質加熱，從而改變原電加熱工藝；

3、利用多晶矽生產廠（chǎng）家的廠家蒸汽餘熱，設置10萬級空氣淨化換熱裝置代替原氮氣電加熱幹燥還原（yuán）爐體工藝；

4、北京TXVLOG糖心短视频网站潔清潔（jié）設備有限公司自行研發設計（jì）的自驅動旋（xuán）轉升降（jiàng）噴射機（jī）構可適應各（gè）規格的還原爐體；

5、由於清洗過程中（zhōng）會有（yǒu）氫氣和酸性物質產生，所以必須解（jiě）決二次汙染問題。我公司自行設計的（de）全封閉式清洗（xǐ）裝置可完美解決二次汙（wū）染；

6、設計出高壓堿液和清水的供（gòng）給和（hé）分開回收裝置，並進行淨化使後序清洗水用於前序的（de）漂洗工序，充分利用了廢水資源。

實際使用證明，北京德（dé）高潔清潔設備有限公（gōng）司研發生產的多晶（jīng）矽自動化還原爐鍾罩清洗係統（tǒng）有效解決了生產中的實際問題（tí），為公司節（jiē）能降耗提供了有（yǒu）利條件，適用於在全國範圍推廣應用。