高壓水射（shè）流玻璃基板清洗技術實（shí）際效果介（jiè）紹

當今（jīn）LCD顯示器的生產過程中清（qīng）洗工藝的優劣是至關（guān）重要的，目前最流行的是將高壓水射流清洗技術應用到玻璃基板的清洗工藝中，可（kě）通過將清洗液加壓到上百bar的壓力，再通過（guò）孔徑為0.5～1.5mm的微孔噴出，形成高流速的微小液滴來清洗玻璃基（jī）板。這（zhè）一技術提高了噴淋清洗的（de）洗（xǐ）淨力，縮（suō）短了清洗線的長度，節省了淨化空間和DI水的使用（yòng）量。之前（qián）我們介紹了《高壓清洗機在玻璃基板清洗中的應用》，以下主要介紹（shào）高壓水（shuǐ）射流玻璃基板清洗技術的實際效果（guǒ）。
 
對噴射壓（yā）力為100 bar，噴射距離為100 mm的狀況進行試驗，結果表明，從微孔噴射嘴噴出的（de）清洗液在（zài）空氣中運（yùn）行時，與空氣發生（shēng）碰撞後進一步微細化。對其粒徑的統計表明，其平均粒（lì）徑為0.034 μm，在到達距離噴嘴100 mm 的基板時，速度為40～50 m/s的微細（xì）水（shuǐ）滴所占比例最大。隻要（yào）通過（guò）壓力調節就可以得到所需要粒徑和速度的清（qīng）洗液（yè）滴，以達到所需要（yào）的清洗效果。下圖為（wéi）清洗時（shí）微細液滴微觀照片。
 
實際證明，高壓水射流玻璃基板清洗技術與以前的傳統的清洗方（fāng）式相比較具（jù）有對清（qīng）洗的（de）物件損傷較小、不會對清洗物造成二次汙染和DI水用量小等優點。其中省水的優點更是顯著，它的噴嘴每分鍾（zhōng）隻有小於一升的用水（shuǐ）量，這樣就能很大程度上降低清洗線（xiàn）的DI水用量，並（bìng）由（yóu）於它清洗的高效率也使（shǐ）得（dé）清洗線的長度很大程度節省了淨化空間。這（zhè）些優點將使（shǐ）的（de）超高壓清洗成為LCD清洗工（gōng）藝中更先進更有效的清洗工藝，它將（jiāng）在很大（dà）程度上（shàng）彌補傳統清洗工藝的（de）不（bú）足。