高壓清洗機在玻璃基板（bǎn）清洗（xǐ）中（zhōng）的應用

在當今的（de）LCD顯示器生產過程中，清洗工藝的應用是非常重要的，例如塗膠前對ITO玻璃的清洗、顯影後對（duì）玻璃基板的清洗以及磨擦工藝後對玻（bō）璃基板的清洗等。液晶顯示器的一整套製備工（gōng）藝中，清洗工藝就占到了總工作量的30%～40%。隨著液晶顯示技術的不（bú）斷進步，清洗工藝（yì）的地位也越來越重要。以下是液晶顯示器的生產流程（chéng）簡圖，我們可以從（cóng）中看到清洗工藝在（zài）整個工藝路（lù）線中的重（chóng）要（yào）性。
 
ITO薄膜層、TFT陣列等（děng）製備（bèi）工（gōng）藝過（guò）程以（yǐ）及玻璃基板的（de）包裝、搬運、運輸和存儲過程是玻璃基板上的主（zhǔ）要（yào）汙（wū）染程序，其主要汙染物有塵埃粒子、纖維紙屑、礦物油或油脂等油，以及三氧（yǎng）化二鋁、二氧化（huà）矽等無機微粒和製備過程中遺留（liú）的（de）殘留物、水跡、手指印等。在整個LCD的清洗過程中（zhōng），業內（nèi）針對上述汙（wū）染物采用過不同的清洗方法，一方（fāng）麵是要去除玻璃基板上沾染的汙染物（wù），避免其對液（yè）晶顯示器的性能造成不良的影響，而另一方麵（miàn）也可以起到改（gǎi）善玻璃基板表麵性能，增加其與加工過程中（zhōng）使用的各種（zhǒng）材料之間的（de）親合力。
 
隨著液晶生產線對清洗工藝要求越來越高（gāo），工程師們提（tí）出了將高壓水射流（liú）技術應用於玻（bō）璃基板清洗中的可（kě）能。在使用常（cháng）壓水噴淋清洗時，噴射到（dào）玻璃基板上的水在其高表麵張力的作用下，會在玻璃簡板表麵形成一層水膜。水膜（mó）和混合基（jī）板表麵上的微細顆粒（lì）和其他汙垢，這反而（ér）會對汙垢起到保護作用，後（hòu）續的水則很（hěn）難將這層（céng）水膜衝破，因此會使（shǐ）清洗效率降低。而高（gāo）壓水射（shè）流技術是一種新（xīn）型的清洗（xǐ）技術，我們采用超高壓微細顆粒水噴射清洗，將水形成大量的粒徑在（zài）幾微米到幾十微米的微細液（yè）滴，並以極高的速度和（hé）密度連續地噴射衝擊被清洗物（wù）表（biǎo）麵。由於（yú）這種微細顆粒的水滴不可能形成（chéng）對汙（wū）垢（gòu）有保護作用的水（shuǐ）膜，因此對基板上的各種汙垢特（tè）別是（shì）微細顆粒汙（wū）垢有很好的去除效果（guǒ）。

將高（gāo）壓清（qīng）洗機應用到玻璃基板的清洗（xǐ）工藝中，可通（tōng）過將清洗液加壓到（dào）100～300bar的壓力，再通過孔徑為（wéi）0.5～1.5mm的微孔（kǒng）噴射嘴（zuǐ）噴出，形成高流速（sù）的（de）微小液滴來清洗玻璃基板。實際應用表明，高壓清洗機的應用提高了常壓噴（pēn）淋（lín）清洗（xǐ）的洗淨力，縮短了清洗線的長度，並且節省了淨化空間和DI水的使用量。